
토호쿠대학의 하야시 야마토 준교수들은 금속 배선 등에 사용하는 동나노 입자(나노는 10억분의 1)를 종래 대비 50배의 속도로 합성하는 기술을 개발했다.
구리 나노입자는 지름이 80나노미터로 작고, 200도씨 정도의 소결을 해서 배선을 만들 수 있다.
새로운 합성법은 황산 등 폐기물이 발생하지 않고도 친환경적인 프로세스가 된다고한다.
2024년도에 실용화를 목표로 한다.
새로운 합성법은 산화동을 히드라진으로 직접 환원한다.
히드라진은 반응성이 높고 산화구리에서 산소를 빼앗아 아미드나 암모니아가 돼어 분산제를 대신한다.
리터당 농도가 250g으로 기존 법의 합성에 비해 20~100배 정도로 짙다.
환원 반응 자체가 발열하기 때문에 반응액 전체가 균일하게 가열되어 골고루 반응이 진행되어져 10분만에 합성할 수 있다.
기존 히드라진은 환원제로서 반응이 너무 강해 구리 입자의 지름을 제어할 수 없다고 여겨져 왔다.
여기서 입경 제어를 위해 희박한 조건으로 반응시켜서 동입자의 보호제나 황산등이 폐기물이 되고 있었다.

히드라진을 사용하면 표면 보호제를 첨가할 필요가 없다.
히드라진 유래의 질소는 소결 공정에서 질소 가스로서 이탈한다.
또한, 폐액처리가 불필요하게 된다.
구리 나노입자는 입경이 작기 때문에 소결 공정 온도를 200도씨로 낮출 수 있다.
다른 기술과 조합하면, 한층 더 저온으로 할 수 있다고 한다.
그 때문에 동배선을 형성하는 수지 기판에 내열성이 높지 않은 수지를 선택할 수 있게 된다.
연구는 신에너지산업기술 종합개발기구(NEDO)의 '전략적 에너지 절약 기술 혁신 프로그램'의 지원을 받았다.
일본 세라믹스 협회 주최로 9월 1일에 개막하는 '제34회 추계 심포지엄'에서 지세한 내용을 발표한다고한다.
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