차세대 파워 반도체 재료인 "GaN" 결정의 품질을 평가하는 최신 장치의 능력

ODPL 측정 장치 C15993-01

하마마츠 호트닉스는 차세대 파워 반도체 재료인 질화 갈륨(GaN) 등 화합물 반도체 결정의 품질 정량 평가 장치 'ODPL 측정 장치 C15993-01"을 개발해서 8월 2일에 발매한다.

내부가 반사재료로 덮인 적분구를 이용함으로써 결정으로부터 전방위로 방출되는 빛인 포트르미네센스 (PL)를 측정해서 결정의 구조 결함이나 불순물의 유무를 수치화한다고한다.

가격은 1100만엔(소비세 포함).
반도체 기판 메이커나 대학의 연구자 전용으로 첫해에 6대, 3년 후 14대의 판매를 전망한다.

이 장치는 PL의 강도 측정 결과로부터 광자로 변환한 재료 흡수에너지의 확률(IQE)을 산출, 품질을 수치화해 평가한다.

종래 한 방향의 PL을 기본으로 평가했지만, 빛의 조사 조건에서 측정 결과가 달라서 정량성이 낮았다.

7월 14일의 파워 반도체와 화합물 반도체의 온라인 이벤트 'SEMI 파트너 서치'에서 소개한다.

향후 양산 라인에서의 검사용으로 대형 웨이퍼 대응 장치를 개발한다.



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